次の表に、推奨されている洗浄圧と時間を示しています。
表 1. PR‑23‑AP/GPに内蔵された洗浄ノズルを使用する場合の洗浄媒体パラメータ
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プロセス圧力に加える下限値 |
プロセス圧力に加える上限値 |
洗浄時間 |
復旧 |
間隔 |
| 蒸気（SN） |
2bar |
4bar |
3秒 |
20～30秒 |
20～30分 |
| 水（WN） |
2bar |
4bar |
3秒 |
20～30秒 |
20～30分 |
| 高圧水（WP） |
15bar |
40bar |
10秒 |
20～30秒 |
10～20分 |
表 2. フローセル洗浄ノズルAFCを使用する場合の洗浄媒体パラメータ
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プロセス圧力に加える下限値 |
プロセス圧力に加える上限値 |
洗浄時間 |
復旧 |
間隔 |
| 蒸気（SN） |
3bar |
6bar |
3～5秒 |
20～30秒 |
20～30分 |
| 水（WN） |
3bar |
6bar |
10～15秒 |
20～30秒 |
10～20分 |
| 高圧水（WP） |
25bar |
35bar |
10～15秒 |
20～30秒 |
10～20分 |
表 3. Safe‑DriveアイソレーションバルブノズルSDIを使用する場合の洗浄媒体パラメータ
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CONC%値 |
プロセス圧力に加える下限値 |
プロセス圧力に加える上限値 |
洗浄時間 |
復旧 |
間隔 |
| 蒸気（SN） |
10 … 30 % |
2bar |
4bar |
2～3秒 |
20秒 |
120～360分 |
| 30 … 60 % |
3bar |
6bar |
3秒 |
20秒 |
20～60分 |
| 60 … 90 % |
4bar |
8bar |
3～5秒 |
20秒 |
15～25分 |
| 高圧水（WP） |
25bar |
30bar |
10～15秒 |
20秒 |
5～20分 |
| 注意
蒸気洗浄では、推奨されている洗浄時間を超えないようにしてください。プロセス媒体によっては、長時間蒸気を当てるとプリズム表面に焦げ付くことがあります。コーティングの場合は、洗浄間隔を短くしてください。
自動洗浄カットパラメータについては、「プリズム洗浄パラメータの設定」を参照してください。
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| 水洗浄では、水温をプロセス温度より高くする必要があります。 |