テフロンボディ屈折計PR‑23‑M/MS - PR-23 - PR-23-AC - PR-23-AP - PR-23-GC - PR-23-GP - PR-23-M - PR-23-RP - PR-23-SD - PR-23-W

PR-23シリーズ 取扱説明書

Document code
IM-JA-PR23
Revision
H
Language
日本語
Product
PR-23
PR-23-AC
PR-23-AP
PR-23-GC
PR-23-GP
PR-23-M
PR-23-RP
PR-23-SD
PR-23-W
Document type
取扱説明書

テフロンボディ屈折計PR‑23‑M/MSは、化学的に腐食性が高い溶液および超高純度のファインケミカルプロセスに使用するために設計されています。

PR‑23‑Mは汎用モデルで、PR‑23‑MSは特に半導体業界向けに設計されています。センサには、金属部品や腐食しやすい部品がいずれも処理液と接触しないように設計されたフローセルが内蔵されています。すべての接液部品が非金属の材料(PTFE(Teflon®)またはPVDF(Kynar®))でできているため、PR‑23‑M/MSセンサは非常に優れた耐腐食性を備えています。

図 1. PR‑23‑M/MSセンサ

前の図は、センサの構造を示しています。フローセル(3)とサファイアプレート(1)は、4本のネジでステンレス鋼センサに固定されています。フローセル(3)は、Kalrez Oリング(2)で密閉されています。フローセルには、Oリング(2)の後ろ側に円形のリークチャンバーがあり、漏れ出した液が金属部品に到達しないようになっています。チャンバーは、1/8インチのメネジ接続を備えたチェックポートに接続されています。