PR‑23‑RPでは、プリズム洗浄システムを使用することができます。これには、CFC-RP-M20フローセルと2インチANSI 300 CFC洗浄ノズルを組み合わせて使用する必要があります。これらのコンポーネントは両方ともヴァイサラから入手することができます。洗浄システムを設置するために必要となるその他のすべての部品は、お客様が自分で入手する必要があります。これには、2インチANSI 300~0.5インチANSI 300アダプタ、0.5インチANSI逆止弁、0.5インチANSI 300シャットオフバルブ、0.5インチ洗浄媒体供給配管などが含まれます。