等待至工艺条件正常、稳定。采样测量并进行现场校准。如果所需的现场调整量过大,而诊断状态为正常运行,则可能是 RI 测量造成的。可通过 RI 校准检查程序进行检查。 Indigo520:计算现场调整,使用 Indigo520 执行 RI 校准 Insight:计算现场调整, 使用 Insight 执行 RI 校准.