次の表は、蒸気洗浄の標準的な洗浄圧力と洗浄時間を示しています。
| 表に示した圧力がプロセス圧力に追加されます。ここに示した値は参考値です。プロセス圧力や蒸気圧の変化を考慮してください。 |
配管からの蒸気圧が強すぎる場合は、蒸気減圧装置を別途使用することができます。
表 1. 蒸気洗浄の標準的な洗浄圧力と洗浄時間
| 洗浄ノズル |
濃度値 |
プロセス圧力に加える下限値 |
プロセス圧力に加える上限値 |
洗浄時間 |
復旧 |
間隔 |
| PR53AP/GPの一体型洗浄ノズル |
該当なし |
2bar |
4bar |
3秒 |
20～30秒 |
20～30分 |
| 洗浄ノズル：サニタリーエルボフローセル（SEFC）、サニタリーエルボフローセル大（SEFCL）、フランジウェーハフローセル（FWFC） |
該当なし |
3bar |
6bar |
3～5秒 |
20～30秒 |
20～30分 |
| PR53SD 洗浄ノズル |
10–30 % |
2bar |
4bar |
2～3秒 |
20秒 |
120～360分 |
| 30–60 % |
3bar |
6bar |
3秒 |
20秒 |
20～60分 |
| 60–90 % |
5bar |
8bar |
3～5秒 |
20秒 |
15～30分 |
| 注意
蒸気洗浄では、推奨されている洗浄時間を超えないようにしてください。プロセス媒体によっては、長時間蒸気を当てるとプリズム表面に焦げ付くことがあります。コーティングの場合は、洗浄間隔を短くしてください。「洗浄時間の設定」を参照してください。
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表 2. SWS100の最大圧力および最高温度
| 最大入力圧力 |
25bar |
| 最高入力温度 |
+200°C（10bar時） |