次の表は、水洗浄の標準的な洗浄圧力と洗浄時間を示しています。
| 表に示した圧力がプロセス圧力に追加されます。ここに示した値は参考値です。プロセス圧力や水圧の変化を考慮してください。 |
| 洗浄ノズル | プロセス圧力に加える下限値 | プロセス圧力に加える上限値 | 洗浄時間 | 復旧 | 間隔 |
|---|---|---|---|---|---|
| PR53AP/GPの一体型洗浄ノズル | 2bar | 4bar | 3秒 | 20～30秒 | 20～30分 |
| 洗浄ノズル：サニタリーエルボフローセル（SEFC）、サニタリーエルボフローセル大（SEFCL）、フランジウェーハフローセル（FWFC） | 3bar | 6bar | 10～15秒 | 20～30秒 | 10～20分 |
| PR53SD 洗浄ノズル | 20bar | 30bar | 10～15秒 | 20秒 | 5～20分 |
| 最大入力圧力 | 40bar |
| 最高入力温度 | +150°C |
| 水洗浄では、水温をプロセス温度より高くする必要があります。 |
| 逆止弁の圧力降下は0.7barです。 |