焊接设备 用于在工艺腔室壁上钻孔的设备 5 mm 内六角扳手 2 mm 内六角扳手 图 1. DMP246CS 冷却装置安装法兰 1 厚壁加长件（不附送） 2 焊接点 3 安装管 4 安装螺钉（4 个，M6×16 DIN 912） 图 2. 不带安装法兰的 DMP246CS 冷却装置 1 冷却衬套 2 法兰 3 冷却棒 4 锁定螺钉（4 个，M4×6 DIN 916） 5 散热片的安装螺钉 (M6×60 DIN 912) 在工艺腔室壁上钻出一个 89.5 + 0.5 mm 的圆孔。尽可能水平安装冷却装置，以确保提供尽良好的冷却性能。 如果工艺腔室壁厚度超过 125 mm，则在安装管上焊接一个加长件（最长50 mm）。 将安装法兰管紧紧焊接到工艺腔室壁的内侧金属板上。 将冷却装置连接到安装法兰并使用 5 mm 内六角扳手拧紧安装螺钉。正确拧紧安装螺钉对于确保良好的热接触至关重要。 如果工艺腔室正在使用中或温度高于环境温度，请在插入探头之前让冷却装置预热以避免冷凝： 用连接到冷却装置上的塞子紧紧塞住冷却棒的孔。 如果需要安装散热片，请在此时进行安装以便让它们一起预热。请参见9。 等待几个小时。 拔下冷却棒并继续安装。 使用 2 mm 内六角扳手拧松冷却棒上的锁定螺钉。 将探头推入冷却棒，直到探头碰到另一端并且不能再进行推动。大约 7.5 cm 的探头将留在冷却棒外面。 小心 请勿拉扯探头电缆。 拧紧锁定螺钉以将探头锁定到位。 如果需要安装散热片，请使用 5 mm 内六角扳手将散热片安装在冷却棒周围。放置散热片时注意不要遮住锁定螺钉。拧紧两个安装螺钉，使散热片与冷却棒之间具有良好的热接触。
