ヴァイサラDRYCAP® DMP7 露点プローブは低露点環境における計測に適した設計です。プローブの短さにより、半導体製造機器などスペースに制約がある場所での設置に最適です。その他、工業用乾燥工程、圧縮空気システム、ドライルーム、金属熱処理におけるブランケットガスなどの用途にも対応できます。
- プローブヘッドの動作温度範囲:-40~+80°C
- プローブ本体の動作温度範囲:-40~+80°C
- プローブヘッドの動作圧力範囲:0~10bar(絶対圧)
大気圧とは異なる圧力のプロセスに取り付けた場合、プローブの圧力補正設定パラメータまたはレジスターに正しい圧力を入力します。これにより、プローブは圧力補正を適用し、適切な計測結果が得られます。 |